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真空環境測試真空加熱腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電化學信號測試。測試腔體可擴展模塊較多,該腔體設計有進氣口和抽真空接口和4-8芯信號真空電極及真空計接口,腔體上部安裝有φ80石英觀察片方便觀察樣品和光學用途。
不銹鋼加熱真空腔體主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面為50x50mm,臺面可升溫到350℃。
方型真空加熱腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面為φ100mm,臺面可升溫到350℃。該腔體設計有進氣口和抽真空接口和2-4芯信號真空電極,多可選用6芯電極。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,由內部探針行將樣品電極引入腔體的信號線連接到外部測試儀器,外部信號線連接測試儀器來測試電子信號。
氣敏材料測試真空加熱腔體主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本